고분자 패터닝 공정 및 응용분야
| 연구책임자 | 서갑양 |  |
| 소속 | 서울대학교 | |
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| 강의개요 | 고분자는 이미 반도체 공정을 비롯한 디스플레이, 바이오산업 등에서 에칭을 위한 리지스트, 절연물질 혹은 단백질/세포 등의 흡착 방지막 등으로 폭넓게 사용되고 있다. 최근 들어 고분자를 이용한 마이크로/나노 패터닝 기술은 매우 빠르게 발전하고 있으며 공정이 간편하고 경제적이라는 장점으로 인해 기술 적용 분야가 넓고 전망도 밝은 편이다. 이번 연구사업에서는 상용고분자부터 바이오 고분자에 이르기까지 고분자 물질을 어떻게 하면 쉽게 간단한 방법으로 마이크로/나노 스케일로 패터닝할 수 있으며 그 응용 분야가 무엇인지 살펴보고자 한다. |
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