표면 나노화학 공정 기술
| 연구책임자 | 최대근 |  |
| 소속 | 한국기계연구원 | |
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| 강의개요 | 표면처리기술은 반도체 및 전자소자의 접착 및 세정공정에 있어서 중요한 분야로 많은 연구가 진행되어져 왔다. 특히, 최근 나노기술의 발전과 함께 나노소자와 나노바이오재료의 화학적인 표면처리기술의 중요성이 대두되면서 이에 관한 연구가 많은 관심을 받고 있다. 대표적인 예로, 단분자 자기조립막을(Self-Assemble Monolalyers) 이용한 반도체소자의 절연막 구성, 나노 임프린트 공정에서 스템프의 이형처리와 기질 표면의 접착력 향상, 접촉식 프린팅, 자기조립막을 이용한 바이오 소자등에 이미 적용 되고 있다. 본 사업에서는 나노공정 및 소자적용에 필수적인 표면 이형성 처리와 접착력 향상 공정을 기상 및 액상 방법으로 나누어 장단점을 비교하고 이 분야에 연구정보를 제공하고자 한다. |
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