검색결과 : 2건
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Ti/Si의 조성비율이 다른 타겟을 이용한 sputtered Ti-Si-N 박막의 증착특성 연구 박상기, 강봉주, 양희정, 이원희, 이은구, 김희재, 이재갑 Korean Journal of Materials Research, 11(7), 580, 2001 |
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플라즈마 공정 변수가 TiO 2± δ 박막 형성에 미치는 영향 박상기, 강봉주, 이원희, 이재갑 Korean Journal of Materials Research, 10(11), 732, 2000 |