검색결과 : 1건
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다중 음극 전자빔을 이용한 대면적 플라즈마 소스 강양범, 전형탁, 김태영, 정기형, 고동균, 정재국, 노승정 Korean Journal of Materials Research, 9(9), 861, 1999 |
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다중 음극 전자빔을 이용한 대면적 플라즈마 소스 강양범, 전형탁, 김태영, 정기형, 고동균, 정재국, 노승정 Korean Journal of Materials Research, 9(9), 861, 1999 |