화학공학소재연구정보센터
검색결과 : 11건
No. Article
1 B와 W의 함량이 무전해 Co 합금 박막의 경도에 미치는 영향 연구
임태호, 김재정
Korean Chemical Engineering Research, 56(6), 895, 2018
2 구리 전해 도금을 이용한 실리콘 관통 비아 채움 공정
김회철, 김재정
Korean Chemical Engineering Research, 54(6), 723, 2016
3 중성 영역 구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서의 작용기에 따른 부식방지제의 영향성 연구
이상원, 김재정
Korean Chemical Engineering Research, 53(4), 517, 2015
4 반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금
김명준, 김재정
Korean Chemical Engineering Research, 52(1), 26, 2014
5 구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정
권오중, 조성기, 김재정
Korean Chemical Engineering Research, 47(2), 141, 2009
6 [행사보고] “제4회 화학공학 마스터즈 심포지엄”을 마치고
김재정
News & Information for Chemical Engineers, 24(6), 650, 2006
7 [특별기획] 에너지 변환/저장 분야와 나노/마이크로 기술의 접합
김재정
News & Information for Chemical Engineers, 21(4), 460, 2003
8 갈바니 치환 증착 방법을 이용한 확산방지막 위에서의 구리 시드층 형성
김재정, 강무성
HWAHAK KONGHAK, 39(6), 721, 2001
9 다결정 실리콘 식각 후처리에 대한 세정 효과 해석
이창원, 이종대, 최상준, 김재정
HWAHAK KONGHAK, 38(2), 230, 2000
10 [행사보고] 제3회 CVD 심포지엄을 마치며
김재정
News & Information for Chemical Engineers, 18(5), 652, 2000