검색결과 : 11건
No. | Article |
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B와 W의 함량이 무전해 Co 합금 박막의 경도에 미치는 영향 연구 임태호, 김재정 Korean Chemical Engineering Research, 56(6), 895, 2018 |
2 |
구리 전해 도금을 이용한 실리콘 관통 비아 채움 공정 김회철, 김재정 Korean Chemical Engineering Research, 54(6), 723, 2016 |
3 |
중성 영역 구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서의 작용기에 따른 부식방지제의 영향성 연구 이상원, 김재정 Korean Chemical Engineering Research, 53(4), 517, 2015 |
4 |
반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금 김명준, 김재정 Korean Chemical Engineering Research, 52(1), 26, 2014 |
5 |
구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정 권오중, 조성기, 김재정 Korean Chemical Engineering Research, 47(2), 141, 2009 |
6 |
[행사보고] “제4회 화학공학 마스터즈 심포지엄”을 마치고 김재정 News & Information for Chemical Engineers, 24(6), 650, 2006 |
7 |
[특별기획] 에너지 변환/저장 분야와 나노/마이크로 기술의 접합 김재정 News & Information for Chemical Engineers, 21(4), 460, 2003 |
8 |
갈바니 치환 증착 방법을 이용한 확산방지막 위에서의 구리 시드층 형성 김재정, 강무성 HWAHAK KONGHAK, 39(6), 721, 2001 |
9 |
다결정 실리콘 식각 후처리에 대한 세정 효과 해석 이창원, 이종대, 최상준, 김재정 HWAHAK KONGHAK, 38(2), 230, 2000 |
10 |
[행사보고] 제3회 CVD 심포지엄을 마치며 김재정 News & Information for Chemical Engineers, 18(5), 652, 2000 |