검색결과 : 2건
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공용매로 변형된 초임계 이산화탄소를 이용한 이온 주입 포토레지스트 세정 정인일, 김주원, 이상윤, 김우식, 유종훈, 임교빈 Korean Chemical Engineering Research, 43(1), 27, 2005 |
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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 Y 3 Al 5 O 12 :Ce 형광체 박막의 성장 거동 및 발광 특성 김주원, 김영진 Korean Journal of Materials Research, 15(8), 548, 2005 |