검색결과 : 2건
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Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 NiFe, NiFeCo, Ta의 건식식각 라현욱, 박형조, 김기주, 김완영, 한윤봉 Korean Chemical Engineering Research, 43(1), 76, 2005 |
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Hard Mask 용 SiO2의 NF3/Ar ICP 식각특성과 실험계획법과의 비교 박형조, 라현욱, 남기석, 김기주, 한윤봉 Korean Chemical Engineering Research, 42(6), 712, 2004 |