검색결과 : 1건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
Mesh-type PECVD를 이용한 DC-bias인가 및 수소가스 첨가에 따른 저수소화 비정질 실리콘 박막에 관한 연구 류세원, 권도현, 박성계, 남승의, 김형준 Korean Journal of Materials Research, 12(4), 235, 2002 |
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Mesh-type PECVD를 이용한 DC-bias인가 및 수소가스 첨가에 따른 저수소화 비정질 실리콘 박막에 관한 연구 류세원, 권도현, 박성계, 남승의, 김형준 Korean Journal of Materials Research, 12(4), 235, 2002 |