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[일반총설] 화학증폭개념에 바탕을 둔 반도체용 초미세가공 재료 문성윤, 오승훈, 구재선, 이상균, 박동원 Polymer Science and Technology, 8(5), 635, 1997 |
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[일반총설] 화학증폭개념에 바탕을 둔 반도체용 초미세가공 재료 문성윤, 오승훈, 구재선, 이상균, 박동원 Polymer Science and Technology, 8(5), 635, 1997 |