검색결과 : 4건
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승온중 수소 분위기 제어에 의한 선택적 Si 에피텍시 성장 손용훈, 박성계, 김상훈, 남승의, 김형준 Korean Journal of Materials Research, 12(5), 363, 2002 |
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Mesh-type PECVD를 이용한 DC-bias인가 및 수소가스 첨가에 따른 저수소화 비정질 실리콘 박막에 관한 연구 류세원, 권도현, 박성계, 남승의, 김형준 Korean Journal of Materials Research, 12(4), 235, 2002 |
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AlN 세라믹스와 금속간 계면접합에 관한 연구 : I. AlN/Cu 및 AlN/W 활성금속브레이징 접합체의 잔류응력 해석 박성계, 이승해, 김지순, 유희, 염영진 Korean Journal of Materials Research, 9(10), 962, 1999 |
4 |
AlN 세라믹스와 금속간 계면접합에 관한 연구: II. AlN/Cu 접합체의 잔류응력에 미치는 Mo 중간재의 영향 박성계, 김지순, 유희, 임영진, 권영순 Korean Journal of Materials Research, 9(10), 970, 1999 |