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Ti 함량 변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구 김경석, 이규한, 임승택, 이승윤, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 10(3), 218, 2000 |
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Ti 함량 변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구 김경석, 이규한, 임승택, 이승윤, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 10(3), 218, 2000 |