검색결과 : 3건
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저진공 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각 김재권, 박주홍, 이성현, 노호섭, 주영우, 박연현, 김태진, 이제원 Korean Journal of Materials Research, 19(3), 132, 2009 |
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저진공 축전결합형 SF6, SF6/O2, SF6/CH4 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각 박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이제원 Korean Journal of Materials Research, 19(2), 68, 2009 |
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다층 RIE Electrode를 이용한 아크릴의 O2/N2 플라즈마 건식 식각 김재권, 김주형, 박연현, 주영우, 백인규, 조관식, 송한정, 이제원 Korean Journal of Materials Research, 17(12), 642, 2007 |