검색결과 : 2건
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Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO x 박막의 성장 및 특성분석 이주현, 정일채, 채상훈, 서영준, 이영백 Korean Journal of Materials Research, 10(3), 212, 2000 |
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Nd:YAG Laser를 이용한 자성금속 막의 패턴 식각 채상훈, 서영준, 송재성, 민복기, 안승준, 이주현 Korean Journal of Materials Research, 10(2), 171, 2000 |