검색결과 : 1건
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중성리간드(L)가 (hfac)Cu(I)L 전구체의 특성 및 구리 MOCVD 공정에 미치는 영향 최경근, 김경원, 이시우 Korean Journal of Materials Research, 11(3), 185, 2001 |
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중성리간드(L)가 (hfac)Cu(I)L 전구체의 특성 및 구리 MOCVD 공정에 미치는 영향 최경근, 김경원, 이시우 Korean Journal of Materials Research, 11(3), 185, 2001 |