검색결과 : 2건
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SiH 2 Cl 2 와 O 3 을 이용한 원자층 증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성 이원준, 이주현, 한창희, 김운중, 이연승, 나사 Korean Journal of Materials Research, 14(2), 90, 2004 |
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졸-겔 법으로 성장시킨 Nb가 첨가된 Bi 4 Ti 3 O 12 박막의 미세구조와 전기적 성질 김상수, 장기완, 한창희, 이호섭, 김원정, 최은경, 박문흠 Korean Journal of Materials Research, 13(5), 317, 2003 |