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중성 영역 구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서의 작용기에 따른 부식방지제의 영향성 연구 이상원, 김재정 Korean Chemical Engineering Research, 53(4), 517, 2015 |
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중성 영역 구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서의 작용기에 따른 부식방지제의 영향성 연구 이상원, 김재정 Korean Chemical Engineering Research, 53(4), 517, 2015 |