검색결과 : 2건
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고선택비 인산공정에서의 식각율 향상과 SiO2 재성장에 관한 연구 이승훈, 모성원, 이양호, 배정현 Korean Journal of Materials Research, 28(12), 709, 2018 |
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규불화수소산을 이용한 설리콘 산화물 필름 제조에 관한 연구 박은희, 정홍호, 엄헌성, 홍성수, 노재성 Korean Journal of Materials Research, 9(4), 414, 1999 |