검색결과 : 2건
| No. | Article |
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Application of linear annealing method to Si vertical bar vertical bar SiO2/Si wafer direct bonding Lee JW, Kang CS, Song OS, Kim CK Thin Solid Films, 394(1-2), 272, 2001 |
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선형열처리법으로 직접 접합된 Si 기판 및 산화된 Si 기판의 접합 특성 이진우, 강춘식, 송오성, 류지호 Korean Journal of Materials Research, 10(10), 665, 2000 |