검색결과 : 1건
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플라즈마 산화방법을 이용한 질소가 첨가된 실리콘 산화막의 제조와 산화막 내의 질소가 박막트랜지스터의 특성에 미치는 영향 김보현, 이승렬, 안경민, 강승모, 양용호, 안병태 Korean Journal of Materials Research, 19(1), 37, 2009 |
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플라즈마 산화방법을 이용한 질소가 첨가된 실리콘 산화막의 제조와 산화막 내의 질소가 박막트랜지스터의 특성에 미치는 영향 김보현, 이승렬, 안경민, 강승모, 양용호, 안병태 Korean Journal of Materials Research, 19(1), 37, 2009 |