화학공학소재연구정보센터
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No. Article
1 Nanoscale multilayered and porous carbide interphases prepared by pressure-pulsed reactive chemical vapor deposition for ceramic matrix composites
Jacques S, Jouanny I, Ledain O, Maille L, Weisbecker P
Applied Surface Science, 275, 102, 2013
2 Reactive chemical vapor deposition of Ti3SiC2 with and without pressure pulses: Effect on the ternary carbide texture
Jacques S, Fakih H, Viala JC
Thin Solid Films, 518(18), 5071, 2010
3 반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi 2 layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구
김선일, 이희승, 박종호, 안병태
Korean Journal of Materials Research, 13(1), 1, 2003
4 반응성 화학기상증착법에 의해 다결정실리콘 위에 직접성장된 CoSi 2 층의 열적안정성의 개선
이희성, 이화성, 안병태
Korean Journal of Materials Research, 11(8), 641, 2001
5 반응성 화학기상증착법을 이용한 에피택셜 CoSi 2 박막의 형성 및 성장에 관한 연구
이화성, 이희승, 안병태
Korean Journal of Materials Research, 10(11), 738, 2000