검색결과 : 1건
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전기로를 이용한 Si || SiO 2 /Si 3 N 4 || Si 이종기판쌍의 직접접합 이상현, 이상돈, 서태윤, 송오성 Korean Journal of Materials Research, 12(2), 117, 2002 |
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전기로를 이용한 Si || SiO 2 /Si 3 N 4 || Si 이종기판쌍의 직접접합 이상현, 이상돈, 서태윤, 송오성 Korean Journal of Materials Research, 12(2), 117, 2002 |