검색결과 : 1건
| No. | Article |
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사점굽힘시험법을 이용한 이종절연막 (Si/SiO 2 ||Si 3 N 4 /Si) SOI 기판쌍의 접합강도 연구 이상현, 송오성 Korean Journal of Materials Research, 12(6), 508, 2002 |
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사점굽힘시험법을 이용한 이종절연막 (Si/SiO 2 ||Si 3 N 4 /Si) SOI 기판쌍의 접합강도 연구 이상현, 송오성 Korean Journal of Materials Research, 12(6), 508, 2002 |