교류형 PDP 보호막용 MgO-CaO 박막의 광학적 특성과 전기적 특성

조진희; 김락환; 박종완; Jinhui Cho; Rakhwan Kim; Jong-Wan Park

Korean Journal of Materials Research, Vol.9, No.6, 547-550, June, 1999

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교류형 PDP 보호막용 MgO-CaO 박막의 광학적 특성과 전기적 특성

Optical and Electrical Properties of MgO-CaO thin films as a Protective Layer for AC PDPS

조진희, 김락환, 박종완

한양대학교 금속공학과

Jinhui Cho, Rakhwan Kim, and Jong-Wan Park

Dept. of Metallurgical Engineering, Hanyang University, Seoul 133-791, Korea

초록

플라즈마 화상표시기 (PDP) 의 보호막 물질로 사용중인 MgO 의 특성을 개선하기 위하여 본 연구에서는 MgO-CaO박막을 전자선 증착법으로 제조하여 CaO 의 첨가비에 따른 MgO 보호막의 광학적 특성과 전기적 륙성올 고찰하였다. 출발물질의 [CaO/ (CaO+ MgO)] 가 0.1 일 때 방전개시전압은 176V, 메모리마진은 0.5으로 가장 우수한 전기척 특성올 보였다. [CaO/(CaO+MgOl]가 0, 0.1, 0.2 일 때 메모리마진은 0.39. 0.5, 0.41 표연거철기는 27.7Å, 21.1Å, 40.3Å 로 그 변화양상이 반대의 관계롤 보였다. 굴절융을 측정하여 계산한 박막의 밀도는 MgO 의 경우 3.214g/cm 3이였으며， 청가비가 0.1 일 경우 3.632g/cm3이었다. 중착된 박막은 가시광선영역에서 88% 이상의 투과도를 가지고 있었다.

Optical and electrical properties of MgO- CaO films as a protective layer for AC plasma display panel were studied. When the [(CaO/(MgO+CaO)] ratio of evaporation starting materials was optimum composition, 0.1, firing voltage and memory margin of the film were 176V and 0.5, respectively. When [CaO/(CaO+ MgO)] was 0, 0.1 and 0.2, memory margin was 0.39, 0.5 and 0.41, respectively, and surface roughness of films was 27.7Å, 21.1Å and 40.3Å. respectively. lt was thought that memory margin had a reverse-relation with surface roughness. The density of film was calculated by measuring the refractive index of film. The density of MgO film was 3.214g/cm3and the density of film, when [CaO/(CaO+ MgO)] was 0.1, was.3.632g/cm3. The mixture of MgO-CaO films showed a good transmittance property in the visual range.

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