Prospectives of Industrial Chemistry, Vol.9, No.1, 53-64, February, 2006
[나노기술 개발동향] 나노결정 다이아몬드 박막의 합성 및 응용
Synthesis and Application of Nano Crystalline Diamond Thin Film
보석으로서의 가치에 못지 않게, 다이아몬드는 여러 가지 우수한 물리 및 화학적 성질을 갖고 있어, 과학자와 기술자들의 관심을 끌어왔다. 다이아몬드의 이러한 우수한 특성을 활용한 대표적 예가 보석가공 후 생기는 부스러기를 수거하여 공업용 절삭공구를 제작한 것이다. 절삭공구의 성능과 수명을 획기적으로 향상시킬 수 있었지만, 자연산 다이아몬드의 가격과 희소성으로 말미암아 수요량을 충족시킬 수가 없었다. 자연스럽게 인공적으로 다이아몬드를 합성, 제조하고자 하는 시도가 생기게 되었다. 따라서 본 고에서는 최근 부가되고 있는 나노결정 다이아몬드 박막의 합성에 관한 최근 연구결과 및 기술동향을 소개하며, 특허 및 문헌 등 정보적 측면에서의 기술동향 및 전망을 진단하였다.