Prospectives of Industrial Chemistry, Vol.8, No.6, 56-71, December, 2005
[나노기술 개발동향] 나노공정용 플라즈마 장치
R&D Trend on Plasma Equipments for Nanotechnology Process
나노기술과 플라즈마 기술은 반도체공정, 나노입자 제조, 표면처리 뿐만 아니라 향후 무한한 응용잠재력을 가지고 있다. 최근 플라즈마 기술은 낮은 불량률, 안정적인 초고집적 반도체의 대량생산, 섬세한 가공, 균일한 나노미립자의 제조 및 환경 친화적인 공정이라는 우수한 특성으로 기술적인 연구 뿐만 아니라 활발한 산업화가 진행되고 있다. 이에 본고에서는 국내외 나노세공 분자체의 개발현황 및 전망에 대하여 기술하였으며, 또한 나노세공 분자체에 대한 연구논문, 특허 및 산업자료 분석을 통해 연구동향 및 산업동향에 대한 정보분석을 수행했다.