유기실리콘 화합물의 플라즈마 중합에 관한 연구: 3. 플라즈마 중합막의 막성장 속도론

박수영; 김낙중; 김은영; 홍성일; Sasabe H

Polymer(Korea), Vol.16, No.3, 260-265, May, 1992

Plasma Polymerization of Organosilicon Compounds : 3. Overall Kinetics of Plasma polymer Deposition

유기실리콘 화합물의 플라즈마 중합에 있어 중합막의 막성장 속도에 관한 총괄 속도식을 간단한 활성화 성장기구 모델로부터 유도, 제안하였다. 실험에 의해 측정된 중합막의 막성장 속도는 제안 속도식에 의해 잘 설명되었다. 특히, 제안 속도식의 플라즈마 중합 에너지 조건 (W/Fm)에 의한 중합막의 막성장효율의 제어는 W/fm에 의한 화학구조 및 물성의 변화와 긴밀한 관계가 있음을 알 수 있었다.

[References]

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[Referenced By]

[1] Park SY, Kim N, Kim UY, Hong SI, Sasabe H, Polym.(Korea), part I of this series of paper, 16(1) (1992)

[2] Park SY, Kim N, Kim UY, Hong SI, Sasabe H, Polym.(Korea), part II of this series of paper, 16(2) (1992)

[3] Yasuda H, "Plasma Polymerization," Academic Press, New York (1985)

[4] Poll HU, Arzt M, Wickleder KH, Eur. Polym. J., 12, 505 (1976)

[5] Lam DK, Baddour RF, Stancell AF, J. Macromol. Sci.-Chem., A10(3), 421 (1976)

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[7] Thompson LF, Mayhan KG, J. Appl. Polym. Sci., 16, 2317 (1972)

[8] Yasuda H, Wang CR, J. Polym. Sci. A: Polym. Chem., 23, 87 (1985)

[9] Vinogradov GK, Ivanov YA, Polak LS, Khimiya Vysokikh Energii, 15(2), 153 (1981)

[10] Yeh YS, Shyy IN, Yasuda H, J. Appl. Polym. Sci. Appl. Polym. Symp., 42, 1 (1988)