Chemical Industry and Technology, Vol.7, No.2, 182-187, June, 1989
[기술해설] 정밀 전자공정에 관한 총괄
An Overview of Microelectronics Processing
초록
전반적인 정밀 전자공정이 소개된다. 이 공정은 모래로부터 웨이퍼에 이르는 원료의 가공, 집적회로와 같은 웨이퍼상의 장치 가공 그리고 집적회로의 봉입공정과 같은 주요한 세 부분으로 이루어 진다. 어느 정도 자세한 공정의 각 단계들은 전반적인 공정에 채택되는 접근방법에 따라 나타나게 된다. 본 논문에서는 공정의 전반적인 개괄을 소개하여 공정이 무엇인가 또는 그것이 무엇을 포함하고 있는가에 대한 개념과 지식을 제공하고자 한다.
An overview of microelectronic processing is given. The processing consists of three parts: raw material processing leading to wafer from sand, device fabrication(e.g., intergrated circuit) on the wafer, and packaging of the fabricated integrated circuit. Some detailed processing steps for each part are given along with approaches that should be taken for the overall processing. The material presented here is intended to give an overview of the processing so that readers can have a picture and a grasp of what the processing is and what it involves.