주사전자현미경은 시료의 topography, morphology, composition 및 crystallography를 나노 수준에서 관찰할 수 있는 대표적인 측정기법으로서 기술의 고도화 및 미세화에 따라 사용빈도가 지속적으로 증가하고 있다. 전자현 미경은 전자빔을 이용하여 물체의 형상을 30만 배까지 확대하여 관찰할 수 있으며, 전자기 렌즈에 흐르는 전류를 변화시켜 배율을 자유롭게 조절할 수 있으므로 1000배 이하의 저배율 측정에도 널리 활용되고 있다. 본 고는 상용화된 전자현미경의 핵심요소들의 특징을 개괄적으로 살펴보았다.