학술대회 목록보기 번호 제목 1 화학적 에칭법을 이용한 연삭 공정을 거친 실리콘 웨이퍼의 파쇄층 제거 및 거칠기 향상이동헌, 구교헌, 서승국, 안재상, 노재승, 박승식한국재료학회 2008년 가을 학술대회 1