| 번호 | 제목 |
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비점착성 SiO2 층을 이용한 나노임프린트용 템플릿 제작 연구|Anti-sticking SiO2 layer on Template for nanoimprint lithography technique 최방림, 문강훈, 박인성, 홍성훈, 양기현, 이헌, 안진호 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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나노 임프린트 리소그라피를 이용한 template 제작 방법에 관한 연구|Study on template fabrication method using nanoimprint lithography 문강훈, 최방림, 안진호, 양기연, 홍성훈, 이헌 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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UV 차단 금속막(hybrid mold mask)을 이용한 잔류층이 없는 UV-nanoimprint patterning에 관한 연구|UV-nanoimprint patterning without residual layers using UV-blocking metal layer 신수범, 안진호, 문강훈, 이 헌, 곽신웅, 차한선 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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ECR plasma etching을 이용한 2차원 photonic crystal structure 제작 및 특성평가에 관한 연구|A study on fabrication and evaluation of characteristics of 2-dimensional photonic crystal structure using ECR plasma etching 문강훈, 신수범, 안진호 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
