화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Experimental Determination of Thermal Conductivity of Multilayered Thin Films Using Photothermal Effect
박창한, 김창구, 김현정, 유재석
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
4 The Measurement of Thermal Properties for Thin Films using Photothermal Effect
박창한, 김창구, 김현정, 유재석
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
3 Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si
이형무, 박창한, 김창구
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
2 Effects of the ion mass and the ion incident angle on etch rates in atomic scale etching
박창한, 이형무, 윤형진, 김태호, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
1 A comparative study on deep Si etching using PFC- and UFC-containing Plasmas
이형무, 박창한, 김창구
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회