번호 | 제목 |
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5 |
Experimental Determination of Thermal Conductivity of Multilayered Thin Films Using Photothermal Effect 박창한, 김창구, 김현정, 유재석 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
4 |
The Measurement of Thermal Properties for Thin Films using Photothermal Effect 박창한, 김창구, 김현정, 유재석 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
3 |
Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si 이형무, 박창한, 김창구 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
2 |
Effects of the ion mass and the ion incident angle on etch rates in atomic scale etching 박창한, 이형무, 윤형진, 김태호, 신치범, 김창구 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
1 |
A comparative study on deep Si etching using PFC- and UFC-containing Plasmas 이형무, 박창한, 김창구 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |