번호 | 제목 |
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다이렉트 배선 방식에 적용하기 위한 나노 구리 분말 표면의 VSAM 코팅에 대한 연구 권진형, 성미린, 이계영, 김동권, 김영석, 이기라, 이선영 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Study of substrate temperature effect on FC(Fluorinated carbon) film using C4F8(Octafluorocyclobutane) precursor. 성미린, 이계영, 김규채, 이선영, 임현우 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |