| 번호 | 제목 |
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임베디드 박막 캐패시터용 유전막의 플라즈마 처리 효과에 대한 연구|A Study on the Effect of Plasma Treatment on Dielectric Layer for the Application of Embedded Thin Film Capacitor 임성택, 송원훈, 강형동, 정율교 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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플라즈마 처리에 의한 임베디드 케패시터용 유전 박막의 유전 특성 영향|The effect on the dielectric constant of embedded thin film capacitor by plasma treatment 송원훈, 임성택, 강형동, 정율교 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
