번호 | 제목 |
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Atomic Layer Deposition of TaC gate electrode with TBTDET 조기희, 이시우 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
3 |
원자층 화학증착법으로 제조된 WC(Tungsten Carbide)막의 증착 특성 김영재, 박준형, 김도형 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
2 |
원자층 나노박막 증착을 위한 표면화학 연구|Surface chemistry study for atomic layer chemical vapor deposition 용기중|Kijung Yong 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
1 |
원자층 화학증착법을 이용한 나노구조 형성|Formation of nano structure using atomic layer chemical vapor deposition 이시우, 남원희, 김원규|Shi-Woo Rhee, Won-Hee Nam, Won-Kyu Kim 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |