화학공학소재연구정보센터
번호 제목
7 레이저 충격파 특성에 의한 입자 거동과 세정효율에 미치는 영향
유영삼, 김태곤, 손일룡, 박진구
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
6 반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발
손일룡, 김태곤, 유영삼, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
5 레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향
유영삼, 김태곤, 손일룡, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
4 콜로이달 실리카를 이용한 새로운 텅스텐 슬러리 개발
유영삼, 강영재, 김인권, 홍의관, 박진구, 정석조, 변정환, 김문성
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
3 Conditioner disk의 diamond의 형상에 따라 Polishing Pad에 미치는 영향
김규채, 강영재, 유영삼, 박진구, 원영만, 오광훈
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
2 Cu CMP중 Citric Acid 기반의 Slurry에서 부식방지제(BTA)의 영향|Effect of Corrosion Inhibitor (BTA) on Citric Acid based Slurry on Cu CMP
유영삼, 김인권, 양희광, 강영재, 홍의관, 박진구
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
1 Extraction Characteristics of Soybean by Carbon Dioxide Supercritical Fluid Extraction
유영삼, 우명우
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회