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Mo 하부전극을 통한 Wake-up 현상 억제 Hf0.5Zr0.5O2 캐패시터의 제작 및 특성 평가
유근택, 김세현, 박주용, 이동현, 박민혁
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Polystyrene/Cu nanoparticles for high dielectric materials of embedded capaictors
조재영, 오정민, 김지희, 정현민
한국공업화학회 2017년 가을 학술대회 |
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PS/Cu와 PS/Ag 복합입자 제조와 박막화를 통한 고유전층 형성 연구
이선영, 정현민, 김관수
한국고분자학회 2015년 봄 학술대회 |
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PS/Cu와 PS/Ag 복합입자 제조와 박막화를 통한 고유전층 형성 연구
이선영, 최다연, 정현민
한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
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PS/Cu 나노컴퍼짓의 유전율 특성에 관한 연구
이선영, 정현민
한국공업화학회 2014년 가을 학술대회 |
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Termal Property of TEMAZ for Atomic layer deposition
안종기, 차덕준, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2012년 가을 학술대회 |
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Fabrication of carbon nanotube field effect transistors operated at low gate bias via using the organic-inorganic hybrid gate dielectric layer grown by atomic layer deposition
김준성, 윤장열, 배민영, 하정숙
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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Al이 도핑된 ZrO2 게이트 절연 박막을 이용한 나노선 전계효과트랜지스터 소자의 제작과 특성 분석
배민영, 하정숙
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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Preceramic Polymer를 이용한 SiOC(-H) 저유전 박막의 제조
이정현, 이윤주, 김수룡, 정현상, 김형순, 김영희
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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전자빔 처리를 통한 저온공정으로 제작된 Ultra Thin SiO2 유전박막의 특성향상에 관한 연구 Investigation of the properties of Ultra Thin SiO2 dielectric prepared at low temperature process by electron beam treatment
이재영, 정철우, 김대일
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
