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펄스 SiH4 플라즈마 반응기에서의 입자 성장 제어
김동주, 김교선
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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펄스 SiH4 플라즈마 공정에서 입자 성장에대한 공정 변수의 영향
김동주, 박정훈, 강진이, 나소노바 안나, Piyabutr Sunsap, 김교선
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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SiH4 PCVD 공정에서 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향
김동주, 김교선
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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펄스 SiH4 플라즈마 공정에서 입자 성장에 대한 수치분석
박정훈, 강진이, Nasonova Anna, Piyabutr Sunsap, 김동주, 김교선
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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에어로졸 반응기에서 효율적인 입자 성장 분석을 위한2차원 구간 해석법
김동주, 김교선
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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플라즈마 반응기에서 미립자 성장 분석을 위한 모델 결과 비교|Comparison of Model Results to Analyze the Particle Growth in Plasma Reactor
김동주,김교선|TDong-Joo Kim,Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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플라즈마 반응기에서의 나노 미립자 성장 분석|Analysis on Nanoparticle Growth in Plasma Reactor
김교선,김동주|Kyo-Seon Kim,Dong-Joo Kim
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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분자모델링 기법을 이용한 Si3N4 표면의 플라즈마 식각 현상 해석|Molecular Dynamics Simulations of Plasma Etching of Si3N4 Surface
이승엽,김동호,김도현|Seung Yup Lee,Dong Ho Kim,Do Hyun Kim
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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플라즈마 반응기에서 미립자 성장 예측을 위한 discrete-sectional 모델|Discrete-Sectional Model to Predict Particle Growth in Plasma Reactor
김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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반도체 제조 공정 중의 미립자 성장 모델 연구|Analysis on Particle Growth Models in Semiconductor Fabrication Process
김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
