번호 | 제목 |
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1 |
Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in Al2O3-HfO2 Thin Films 정회성, 김지혜, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in Al2O3-HfO2 Thin Films 정회성, 김지혜, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |