| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
분자모델링 기법을 이용한 Si3N4 표면의 플라즈마 식각 현상 해석|Molecular Dynamics Simulations of Plasma Etching of Si3N4 Surface 이승엽,김동호,김도현|Seung Yup Lee,Dong Ho Kim,Do Hyun Kim 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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분자모델링 기법을 이용한 Si3N4 표면의 플라즈마 식각 현상 해석|Molecular Dynamics Simulations of Plasma Etching of Si3N4 Surface 이승엽,김동호,김도현|Seung Yup Lee,Dong Ho Kim,Do Hyun Kim 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |