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학술대회 목록보기

번호	제목
47	Etching of SiO₂ in inductively coupled plasmas using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol 선은재, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
46	Etching characteristics of fluoroether/fluoroalcohol/Ar plasmas 유상현, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
45	Effect of mixing ratio in SiO₂ etching using hydrofluoroether plasmas 선은재, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
44	Hydrofluoroether 플라즈마를 이용한 SiO₂ 식각 유상현, 김창구 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회
43	Novel Discoveries on sH hydrate forming F-gases 김은애, 최준환, 서용원 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
42	Plasma etching of SiO₂ using perfluoropropyl vinyl ether 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
41	C₇F₁₄플라즈마를 이용한 SiO₂, Si₃N₄의 식각 연구 탁현우, 성다인, 양경채, 김수강, 김동우, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회
40	GWP가 낮은 C₃F₆O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO₂ 식각 연구 김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영 한국재료학회 2018년 봄 학술대회
39	Discovery of a gaseous sH hydrate former through phase equilibria and structure identification 김은애, 서용원 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
38	Dependence of SiO₂ etch rates on the ion-incident angle at various bias voltages in a C₄F₈ plasma 박창진, 김창구 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회