| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Study of substrate temperature effect on FC(Fluorinated carbon) film using C4F8(Octafluorocyclobutane) precursor. 성미린, 이계영, 김규채, 이선영, 임현우 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Study of substrate temperature effect on FC(Fluorinated carbon) film using C4F8(Octafluorocyclobutane) precursor. 성미린, 이계영, 김규채, 이선영, 임현우 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |