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학술대회 목록보기

번호	제목
42	ESG Initiatives in Semiconductor Materials: Next Gen. Etching Gas with Low Global Warming Potential 김오현 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
41	Etching of SiO2 in an inductively coupled plasma using hexafluoroisopropanol 이유종, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
40	Etching of SiO₂ in inductively coupled plasmas using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol 선은재, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
39	SiO₂ contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether/pentafluoropropanol/O₂/Ar plasmas 유상현, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
38	Life Cycle Assessment of Green Hydrogen Supply Pathways 유준, Malik Sajawal Akhtar 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
37	Integrated Material and Process Multi-Scale Evaluation of Metal-organic Frameworks Database for Energy-efficient SF₆/N₂ Separation 차재훈, 정용철 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
36	Angular dependence of etch rates in fluoro-ether/O₂/Ar plasmas 유상현, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
35	Effects of O2 addition on etching process in heptafluoropropyl methyl ether plasmas 이유종, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
34	Angular dependence of SiO₂ etch rates in hydrofluoroalcohol-containing plasmas 선은재, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
33	Etching characteristics of fluoroether/fluoroalcohol/Ar plasmas 유상현, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회