화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 방전전력 영향에 따른 특성 연구|Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering
Hong Mo Koo, Se Hyun Kim, Yeon Keon Moon, Chang-Oh Jeong, Jong Wan Park
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
1 DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 기판온도 영향에 따른 특성 연구|Influence of substrate temperature on the properties of Al doped ZnO(ZnO:Al) thin films deposited by direct current magnetron sputtering
Hong Mo Koo, Bo Rae Bang, Yeon Keon Moon, Se Hyun Kim, Chang-Oh Jeong, Jong Wan Park
한국재료학회 2005년 봄 학술대회