번호 | 제목 |
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1 |
Study of Slurry pH and Oxidizer on Ge-doped SbTe for High Speed PRAM CMP Jun-Hee Shin, Jong Woong Baek, Sang Hwa Woo, Jin Hyung Park, Jea Gun Park 한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
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Study of Slurry pH and Oxidizer on Ge-doped SbTe for High Speed PRAM CMP Jun-Hee Shin, Jong Woong Baek, Sang Hwa Woo, Jin Hyung Park, Jea Gun Park 한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |