| 번호 | 제목 |
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Low-Temperature Growth of Indium Oxide Thin Film by PEALD using Novel Indium Precursor for High-Mobility Thin Film Transistor Application 김효연, 정은애, 문금비, 박상희, 박진성, 전동주, 정택모, 한정환 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Cobalt 김재민, 김형준 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
