| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
The Chracteristics of SiO2 Thin Film Deposited by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using BTBAS precursor Hyeongtag Jeon, Honggi Kim 한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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The Chracteristics of SiO2 Thin Film Deposited by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using BTBAS precursor Hyeongtag Jeon, Honggi Kim 한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |