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N2/He Plasma Inhibitor 개발을 통한 공간 분할 PE-ALD시스템에서의 메모리 Gap-fill공정 설계
이백주, 서동원, 황재순, 최재욱
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Interfacial activation by N2 plasma-assisted mechanochemical reaction in nonpolar polymer
김민성, 방준하, 이상수
한국고분자학회 2019년 봄 학술대회 |
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SiNx deposition using CSN-2 and H2 and N2 plasmas by remote plasma atomic layer deposition
Suhyeon Park, Chanwon Jung, Byunguk Kim, Jungwoo Kim, Yurim Kwon, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Interfacial Activation by N2 Plasma-assisted Mechanochemical Reaction in Nonpolar Polymer Involved Composite
김민성, 방준하, 이상수
한국고분자학회 2018년 가을 학술대회 |
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Characteristics of SiNx thin films by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using DTDN2-H2 precursor
임경필, 전형탁, 김현준, 정찬원, 조해원
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor
김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 Silicon nitride (SiNx) 박막의 PEALD 공정에 관한 연구
변지영, 지유진, 김기현, 김기석, 염근영
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Low Dimensional Catalysts for Electrochemical Fuel Production: Hydrogen and Ammonia
심욱
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Surface analysis of N2 plasma treated sapphire substrate for AlN buffer layer
정우섭, 김대식, 조승희, 김철, 고현아, 이두원, 안민주, 변동진
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Characteristics of Silicon Nitride Deposited by VHF-PECVD using a Multi-tile Push-pull Plasma Source
김기석, 김기현, 지유진, 염근영
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
