번호 | 제목 |
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PEMOCVD법을 이용한 Si 기판 위에 증착된 ITO박막의 특성 변화에 관한 연구|The characterization of ITO thin film deposited on silicon using PEMOCVD method 박영철|Young-Chul Park 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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RF-magnetron sputtering을 이용한 YSZ박막제조와 고체전해질형 가스센서로의 응용|Synthesis of YSZ Thin Films by RF-magnetron sputtering and Its Application for Gas Sensor 김기동, 박준용, 조영아, 전진석, 배정훈, 최동수, 염근영|K.D.Kim, D.G.Shin, Y.A.Cho, J.Y.Park, J.S.Jeon, J.H.Bae, D.Choi, G.Y.Yeom 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |