학술대회 목록보기 번호 제목 1 NF3/H2O 플라즈마 가스를 이용한 산화막 식각 공정에서의 반응 기구 연구이동환, 박진구, 장성해, 최인찬, 이준, 김민수, 김현태한국재료학회 2015년 가을 학술대회 1
