| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
CeO2계 CMP 나노 연마입자의 제조와 표면개질|preparation of SiO2-coated CeO2 particles by RF plasma 오명환,이관영|Myoung-Hwan Oh,Kyan-Young Lee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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CeO2계 CMP 나노 연마입자의 제조와 표면개질|preparation of SiO2-coated CeO2 particles by RF plasma 오명환,이관영|Myoung-Hwan Oh,Kyan-Young Lee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |